MEMS in motion

MEMS微掃描晶片

靜電驅動Raster scan與Bi-resonant scan二維微掃描振鏡


MEMS in motion

MEMS位置偵測

微掃描鏡運動電容感測與鎖相迴路振動控制


MEMS in motion

掃描成像控制

MEMS運動控制、雷射色彩管理及掃描成像演算法


MEMS in motion

光學設計

雷射鏡片、光路設計、雷射掃描成像模擬及虛像光學設計



我們的MEMS微掃描晶片具有市場上最小封裝尺寸的特點,透過矽基微機電製程,將反射鏡與靜電微致動器一體整合於單晶矽結構上,封裝上無需其他外部零件,尺寸達到真正微型化的需求,不同於其他電磁驅動微掃描鏡封裝時需要組裝額外的磁鐵。透過與世界級的MEMS晶圓廠與封裝廠的合作,我們建立了MEMS微掃描晶片量產的供應鏈,以支持客戶大量生產的需求。

針對柵式掃描的MEMS晶片,鏡面(高速軸)本身可操作在數十kHz的共振頻率下進行擺動,萬向環(低速軸)則可控制在影像畫面更新率的頻率下進行特定軌跡的運動,提供高畫質的柵式掃描投影成像運動。萬向環(低速軸)另外能夠被控制成角度指向性的階梯運動,應用在例如MEMS雷射雷達(光達)等應用。

MEMS in motion


產品應用方案

我們專注於透過跨領域的技術專業,提供MEMS雷射掃描投影技術平台方案,應用於客戶創新的產品領域。

客戶的產品應用包含應用於行動裝置及AR/VR領域的微型化3D深度攝影機、無需對焦的微投影機、曲面投影顯示以及虛擬互動投影裝置等。

MEMS in motion

小尺寸的MEMS微掃描晶片對體積與重量要求高的應用領域,例如AR/MR頭戴顯示裝置,提供客戶更好的設計優勢,光源上透過光纖耦合的雷射,將得以實現更輕巧、微型化的近眼顯示器。

針對車用抬頭顯示器,我們除了小體積、高效率、高亮度的雷射投影成像方案外,也提供虛像光學設計的整體方案。其他應用尚包含MEMS雷射雷達(光達)可應用於機器人、自動化、汽車等領域。