MEMS in motion

MEMS微扫描芯片

静电驱动Raster scan与Bi-resonant scan二维扫描振镜


MEMS in motion

MEMS位置侦测

微振镜运动电容感测与锁相回路共振控制


MEMS in motion

扫描成像控制

MEMS运动控制、激光颜色管理及扫描成像演算控制


MEMS in motion

光学设计

激光镜片、光路设计、激光扫描成像仿真及虚像光学设计



我们的MEMS微扫描芯片具有市场上最小封装尺寸的特点,透过硅基微机电制程,将反射镜与静电微致动器一体整合于单晶硅结构上,封装上无需其他外部零件,尺寸达到真正微型化的需求,不同于其他电磁驱动微扫描镜封装时需要组装额外的磁铁。透过与世界级的MEMS晶圆厂与封装厂的合作,我们建立了MEMS微扫描芯片量产的供应链,以支持客户大量生产的需求。

针对栅式扫描的MEMS芯片,镜面(高速轴)本身可操作在数十kHz的共振频率下进行摆动,万向环(低速轴)则可控制在影像画面更新率的频率下进行特定轨迹的运动,提供高画质的栅式扫描投影成像运动。万向环(低速轴)另外能够被控制成角度指向性的阶梯运动,应用在例如MEMS激光雷达(光达)等应用。

MEMS in motion


产品应用方案

我们专注于透过跨领域的技术专业,提供MEMS激光扫描投影技术平台方案,应用于客户创新的产品领域。

客户的产品应用包含应用于行动装置及AR/VR领域的微型化3D深度摄像头、无需对焦的微投影机、曲面投影显示以及虚拟互动投影装置等。

MEMS in motion

小尺寸的MEMS微扫描芯片对体积与重量要求高的应用领域,例如AR/MR头戴显示设备,提供客户更好的设计优势,光源上透过光纤耦合的激光,将得以实现更轻巧、微型化的近眼显示器。

针对车用抬头显示器,我们除了小体积、高效率、高亮度的激光投影成像方案外,也提供虚像光学设计的整体方案。其他应用尚包含MEMS激光雷达(光达)可应用于机器人、自动化、汽车等领域。